無塵室潔淨度檢測標準參考

   規定無塵室潔淨區的控製指標和檢測方法，有效的控製十萬級和三十萬級潔淨區環境的潔淨度，滿足生產環境的要求。

2　範圍

   本規程適用本公司十萬級和三十萬級潔淨區環境的潔淨度檢驗。

3　檢驗方法

3.1　檢驗項目

   溫度、濕度、壓差、風速（換氣次數）、塵埃粒子數、菌落數

3.2　溫度、濕度

3.2.1　要求

   十萬級/三十萬級潔淨區溫度（18-26）℃，相對濕度（45-65）%

3.2.2　儀器與設備

   溫濕度計

3.2.3　操作方法

   目測溫濕度計。

3.2.4　測定頻次 

1次/班。

3.3　靜壓差

3.3.1　要求

潔淨室與室外壓差≥10Pa，潔淨室與非潔淨室≥5Pa不同級別潔淨室之間≥5Pa。

3.3.2　儀器與設備：補償式微壓計

3.3.3　操作方法

   用補償式微壓計測試各室的靜壓力，由兩室靜壓力之差，為靜壓差。

3.3.4　測定頻次：1次/月

3.4　換氣次數

3.4.1　要求

   十萬級潔淨區換氣次數>15次

三十萬級潔淨區換氣次數>12次

3.4.2　儀器與設備：熱球式電風速計。

3.4.3　操作方法距風口下25cm處測量

3.4.3.1　用風速計風速，采樣點為風口的四個頂角及中心位置（不少於5點）。計算5個點風速平均值。為一個風口的風速。

3.4.3.2　換算公式：

                  ∑（高效風口風速×高效風口麵積）

    換氣次數= ──────────────────

                              被測間體積

3.4.4　測定頻次：1次/月

3.5　塵埃粒子數

3.5.1　要求

十萬級潔淨區塵埃粒子數： ≥0.5μm：≤3500個/L

                         ≥5.0μm：≤20個/L

三十萬級潔淨區塵埃粒子數：≥0.5μm：≤10500個/L

≥5.0μm：≤60個/L

3.5.2　儀器與設備：塵埃粒子計數儀

3.5.3　采樣點

根據麵積，要求最少采樣點見下表：

3.5.4　操作方法

用塵埃粒子計數儀在高度1米水平麵上的位置采樣，每層采樣點不少於5點，每個采樣點采樣次數不少於5次。采樣點見附件1。  

3.5.5　換算公式

             5次測量數的總和

塵埃粒子數= ─────────

                   5

3.5.6　測定頻次 ：1次/季

3.6　菌落數

3.6.1　要求

  浮遊菌 十萬級潔淨區含菌濃度≤500個/m3

  沉降菌 十萬級潔淨區含菌濃度≤10個/皿

          三十萬級潔淨區含菌濃度≤15個/皿

3.6.2　檢測方法

按《微生物檢驗規範》的規定進行。

3.6.5　測定頻次：浮遊菌 1次/季；沉降菌 1次/周

4　測定條件

4.1　當新潔淨區投入使用前，進行一次靜態環境監測，監測時，潔淨區內所有物品均應到位，檢測區內隻留檢測人員，檢測結果應符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格應重新對淨化係統進行檢查，查找原因，進行整改後，再進行檢測，合格後方可投入使用，否則不得進入生產。

4.2　所有在用潔淨區，按本規程的要求進行k8凯发天生赢家一触即发人生檢測，檢測結果應符合3.2.1、3.3.1、3.4.1、3.5.1、3.6.1條的要求。如不合格由技術品質部告知生產部，通知超標車間停產，由生產部、技術品質部、生產車間組織人員查找原因，進行整改後，再進行檢測，合格後方可投入使用。

附件1 塵埃粒子檢測點

附件2 沉降菌檢測點

附件3 浮遊菌檢測點

原文