檢查淨化車間工作正常所進行的各項測試中，其中一項就是對室內氣流的檢查。這是整個測試程序的組成部分。為了稀釋或消除室內的懸浮汙染，從而防止汙染在室內的積累，室內必須有充分的氣流流動。所以對氣流必須進行檢測。
在紊流潔淨室中，風的輸送和混合都是紊流方式進行的。為確保汙染物被清楚，無塵車間的各個部分必須均實現良好的空氣混合。
在單向流淨化車間中，為保證關鍵區域達到最潔淨的水平，其送風直接來自高效過濾器。
淨化車間垂直層流式方向要保持均一氣流必須：
（1）吹出麵的風速不可有速度上的差異；
（2）地板回風板吸入麵之風速不可有速度上的差異。速度過低或過高（0.2m/s，0.7m/s）均有渦流之現象發生，而0.5m/s之速度，氣流則較均一，目前一般潔淨室，其風速均取在0.25——0.5m/s之間
影響潔淨室的氣流因素很多，如製程設備、人員、潔淨室組裝材、照明器具等，同時對於生產設備上方氣流的分流點，亦應列入考慮因素。
淨化車間一般操作台或生產設備等表麵的氣流分流點，應設於潔淨室空間與隔牆板間距2/3之處，如此可使作業人員工作時，氣流可從製程區內部流向作業區，而將微塵帶走；若分流點配置在製程區前方，將成為不當的氣流分流，此時大部份的氣流將流至製程區之後，作業員操作所引起的塵埃將被帶到設備後麵，工作台因而將受到汙染，良率也勢必降低。
淨化車間內的工作桌等障礙物，在相接處均會有渦流現象發生，相對地在其附近之潔淨度將會較差，在工作桌麵鑽上回風孔，將使渦流現象減少最低；組裝材料之選擇是否恰當、設備怖局是否完善，亦為氣流是否成為渦流現象之重要因素。
對潔淨空氣流組織的一般要求如下：
1.送入的潔淨氣流能盡快均勻分布或擴散到整個潔淨區，以衝淡室內汙染源散發的塵和菌對空氣的汙染，維持生產環境所要求的潔淨度。
2.能快捷地把汙染源散發到無塵車間的塵和菌從室內排走，避免或減少渦流和死角，縮短塵、菌在室內滯留時間，以減小與產品接觸的幾率。
3.兼顧室內溫、濕度均勻性等空調送風的要求及工作人員的舒適要求。 由於與一般空調房間的主要任務不同，所以氣流組織的方案也必然有所差異。
對於舒適性空調房間和普通溫、濕度精度的生產車間，考慮其空調氣流組織方案的基點是采用盡可能大的送風溫差，以便減小送風量，使係統設備、管道都更小，初投資和運行費用更低。所以通常夏季采用機器露點送風。
因為送入空氣與室溫溫差大，為避免室內生活區、工作區溫度不均勻或有吹冷風、吹熱風的不舒適感，所以無論是采用側送風口或是頂送散流器，都要求其出風有較強的紊流係數，具有一定的引射能力，以利於吸收了室內熱濕負荷的空氣被卷吸及摻混到送風氣流中，使送風氣流的溫、濕度盡快地接近於室內設計溫、濕度。
當送風氣流以回流的狀態進入生活區、工作區時，其溫、濕度從工藝要求來看，已進入控製精度範圍；從人的感受來說也是柔和和可接受的。普通空調房間側送側回、送風形成貼附射流就是空調房間典型的氣流組織方案。
空調房間氣流組織的特點是除了普通存在送風卷吸麵上升的氣流外，還有很多的渦流。這種上升氣流與塵、菌受重力作用向下運動的方向相逆，塵、菌將隨氣流揚起，一些顆粒較大的塵粒將明顯滯後於氣流，在室內滯留時間將更長。渦流也助長了塵、菌在室內的回旋，而不是快捷地隨氣流從室內離去。這都是與潔淨空氣流組織的原則不同所致。
無塵車間的氣流流型無塵車間的氣流組織或氣流形態主要分為兩類。一類是非單向流，以往稱之為常規流型或亂流流型；另一類是單向流，以往習慣稱之為層流流型。 往往無塵車間內不同區域有不同的潔淨度要求，因此常常將前兩類流型組合在一起。要求高的部位采用單向流，室內其他地方采用非單向流。
這種氣流組織方式，稱為混合流型。例如常風的灌封車間內僅在灌封部位上方設置所謂潔淨罩，向下方送出單向氣流。而車間大部分仍采用上送下回的非單向流送回風方式。 此外還有一種較為特殊的氣流組織形式，稱之矢流或輻射流，也有稱其為斜流流型。它應屬於非單向流，但又有比較接近於水平單向流的效果，而又遠較單向流在構造上簡單。特別是在美國的藥廠采用較普遍。 非單向流適用於藥廠的大部分無塵車間。其送、回風氣流組織形式以頂送、側下回最為典型。
盡管頂送高效過濾器風口帶有孔板散流器，有助於送風車間的潔淨氣流的擴散，但在高效過濾器風口的正下方，處於所謂送風主流區的中央，它的潔淨度一般明顯高於周圍。而周圍區域是送風進入室內後，不斷卷吸入室內的汙染空氣、氣流截麵不斷擴大所覆蓋的部分，至於在相鄰風口之間或房間四角等送風氣流未能覆蓋部位的潔淨度更會差些。
