電子潔淨室氣壓規定及控製篇
發布日期：2021-12-14 05:56 瀏覽次數：
電子潔淨室氣壓規定及控製篇
電子潔淨室氣壓規定及控製篇
對於大部分電子行業潔淨空間，為了控製一定的潔淨度，需要防止外界汙染侵入，所以要保持
內部的壓力（靜壓）高於外部的壓力（靜壓）。這樣外界的汙染就不會侵入室內。其中壓力差的維
持一般應符合以下原則：
1 潔淨空間的壓力要高於非潔淨空間的壓力。
2.潔淨度級別高的空間的壓力要高於相鄰的潔淨度級別低的空間的壓力。
壓力差的維持依靠新風量，這個新風量要能補償在這一壓力差下從縫隙漏泄掉的風量。所以壓力差的物理
意義就是漏泄（或滲透）風量通過潔淨室的各種縫隙時的阻力。
潔淨室中的氣流速度規定：
這裏要討論的氣流速度是指潔淨室內的氣流速度，在其他潔淨空間中的氣流速度在討論具體設備時再說
明。對於亂流潔淨室 由於主主要靠空氣的稀釋作用來減輕室內汙染的程度，所以主要用換氣次數這一概
念，而不直接用速度的概念，不過對室內氣流速度也有如下要求；
(1)送風口出口氣流速度不宜太大，和單純空調房間相比，要求速度衰減更快，擴散角度更大。
(2)吹過水平麵的氣流速度（例如側送時回流速度）不宜太大，以免吹起表麵微粒重返氣流，而造成再汙
染，這一速度一般不宜大幹0.2m/s。
對於平行流潔淨室《習慣上稱層流潔淨室），由於主要靠氣流的“活塞打擠壓作用排除行染，所以截麵上的
速度就是非常重要的指標。過去都參考美國20gB標準，采用0.45m/s．但人們也都了解到這樣大速度所需
要的通風量是極大的，為了節能，也都在探求降低速一風速的可行性。
在我國，《空氣潔淨技術措施》和<潔淨廠房設計規範））都是這樣規定的
垂直平行流（層流）潔淨室≥0.25m/s
水平平行流（層流）潔淨室≥0.35 m/s
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