文件編號：XXX
檢測編號：
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被測單位 |
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潔淨級別 |
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氣流形式 |
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測試狀態 |
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檢測日期 |
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測試依據 |
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報告日期 |
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測試儀器廠家及編號: |
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記錄0.5μm、5μm粒子數:采樣流量為2.83L/min;采樣周期為1min；（單位:粒/m3） |
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潔淨室/區 |
采 |
粒子 |
C1 |
C2 |
C3 |
平均值A=C1+C2+C3 |
平均值的均值 |
標準誤差 |
置信上限UCL=M +t×SE |
結果 |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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5μm |
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1 |
0.5μm |
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0.5μm |
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5μm |
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2 |
0.5μm |
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5 μm |
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