無塵車間的測試及驗收標準

發布日期：2021-11-30 05:56　瀏覽次數：
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無塵車間的測試及驗收標準

控製無塵車間空氣參數的目的—檢查無塵車間是否符合給定的潔淨度級別。無論是在投產調試工作完成後的無塵車間檢測階段，還是無塵車間使用階段都要完成空氣參數的控製工作。在各種標準和建議中都詳細地製訂了和提出了無塵車間空氣參數的測試和控製方法。至今這些方法已成為廣大科技界的共同財富。

在無塵車間內，按其用途的不同應控製下列參數：

1、測試狀態的確定

2、空氣中粒子的濃度

3、氣流的風速和單向性（對單向氣流而言）

4、風量和換氣次數

5、最終過濾器的整體性

6、空氣溫度和濕度

7、無塵車間的密閉性

8、無塵車間表麵的潔淨度

測試狀態的確定：根據設計要求，一般無塵車間都是對無塵車間內的空氣進行靜態檢測，一般不做k8凯发天生赢家一触即发人生檢測，如需k8凯发天生赢家一触即发人生檢測，需要製定或參照其他標準。

空氣粒子濃度的檢測

潔淨度級別

無塵車間和潔淨區均按一項指標劃分級別—一定粒徑粒子的最大允許濃度（每1m3空氣中的粒子數）。

空氣潔淨度級別和空氣潔淨度的測定方法均按下表中的規定確定，根據該標準的規定，的潔淨級別是由粒徑≥給定閥值D的粒子的最大允許濃度確定的。

在確定實際無塵車間的潔淨度級別時，應對粒徑≥閥值的粒子進行統計，下麵的粒子給定粒徑都是指閥值粒徑。

所列為整數級別序數N和最常見值D的粒子最大允許濃度


ISON級

粒子最大允許濃度Cn顆m3，粒徑≥下列值，微米

0.1

0.2

0.3

0.5

1.0

5.0

ISO 1級

10

2

-

-

-

-

ISO 2級

100

24

10

4

-

-

ISO 3級

1000

237

102

35

8

-

ISO 4級

10000

2370

1020

352

83

-

ISO 5級

100000

23700

10200

3520

832

29

ISO 6級

1000000

237000

102000

35200

8320

293

ISO 7級

-



352000

83200

2930

ISO 8級

-



3520000

832000

29300

ISO 9級

-



35200000

8320000

293000

備注：濃度值Cn應四舍五入，小數點後保留三位，在實際情況下粒子濃度的實際誤差是存在的，求不出精度很高的濃度。


潔淨度級別表示實例

ISO 4級；靜態；給定粒徑0.5微米（352粒子/m3）。

ISO 5級；靜態；給定粒徑0.5微米（3520粒子/m3）；5.0微米（29粒子/m3）。

因此，在測試具體的無塵車間的相應潔淨度級別時，不需要檢測如上表所示的該級別的所有粒子粒徑。而隻要檢測為該種無塵車間給定的粒子粒徑。


測定潔淨度級別的方法

在檢測無塵車間的潔淨度級別時，應測定無塵車間內1點或數點的懸浮粒子濃度（即取樣點的粒子濃度）。

因此必須滿足下列要求

1）確認無塵車間的狀態與給定的相符；

2）確定給定粒徑，無塵車間取樣點的數量和位置；

3）確定每一取樣點的取樣數量；

4）確定對每一種給定粒徑在每1取樣點上，每1次取樣的取樣量和取樣時間；

5）取樣之後應對每一種給定粒徑的粒子進行相應統計；

6）將取樣數據填入按各種給定粒徑統計的粒子統計記錄表內（適於采用無計算機軟件的粒子計數器的場合下）；

7）整理取得的數據；

8）對結果進行分析；

9）整理方案確定級別應符合上表要求。


氣流的檢測

在無塵車間中的氣流：

氣流風速（通常是控製單向氣流的風速）

氣流均勻性（單向氣流風速穩定性）並目視檢查氣流。

空氣（單向氣流）的風速和風量

空氣單向氣流的風速是在垂直於氣流方向的平麵上並距離風源150-500mm處測得的。

測試點的數量應大於被測表麵麵積的平方根，但不得小於3，應在每一個設定的網格中進行測量，測量點應均勻地分布在平麵上。

應在距離過濾器表麵150mm處測試過濾器出口處的風速。在評價氣流的均勻性時，應在距離過濾器表麵300mm以上處測試風速。

每1點的測量時間不得少於10秒。並且要確定平均值，最大和最小值。

氣流的均勻性

根據在垂直於空氣運動方向的平麵上各點的風速測試數據，評價單向氣流的均勻性，建議該平麵應距離過濾器表麵（風口）300毫米以上。

平麵上各點處的風速相差不得超過20%-30%。

檢驗過濾器的整體性

最終過濾器（HEPA，ULPA過濾器）是無塵車間的重要部分。這些過濾器安設在無塵車間的吊頂和牆上，裝在設備和風管內。應進行泄漏檢查，以控製過濾器的整體性，過濾器的滲漏意味著粒子的滲漏，會超過ГOCTP5125-99。(原文 )

製造商應在廠內對過濾器作最大穿透粒徑試驗，附過濾器檢測報告，現場不做檢漏。

溫度的檢測

在無塵車間內采用兩種方法控製溫度：

一般控製

特殊控製

（一般控製）在通風空調係統投產-調試時，以及在無塵車間檢測的各個階段和使用階段均要進行溫度的一般控製。

規定工作席工作區高度處的溫度，以及必要時，其他工作點的溫度都要加以控製。

在1小時或更多一些的時間內應周期性的連續測試6分鍾。

相對濕度的控製

待通風空調係統工作穩定後，相對濕度的控製可與溫度的測量同時進行。

至少在每一處對相對濕度有要求的區域內設1個點進行相對濕度的測量，為了使傳感器持續穩定，測量的持續時間不得少於6分鍾。


潔淨實驗室技術指標

序號

房間名稱

麵積

潔淨度

對外

壓差

溫度

濕度

照度

新風

排風

M2

級

Pa

℃

%RH

Lux

%

1

萬級鑒定室1

23

7（萬）

+20

20-26

40-70

300

30

無

2

萬級鑒定室2

16

7（萬）

+20

20-26

40-70

300

30

無

3

萬級鑒定室3

10.3

7（萬）

+20

20-26

40-70

300

30

無

4

緩衝間

6

7（萬）

+15

20-26

40-70

200

30

無

5

準備間

2.6

無

0

20-26

40-70

200

30

無

（2）百級、千級實驗室

1

百級實驗室2

15.00

5（百）

+20

20-26

40-70

300

30

無

2

百級實驗室1

6.10

5（百）

+20

20-26

40-70

300

30

無

3

千級實驗室2

18.20

6（千）

+15

20-26

40-70

300

30

無

4

千級實驗室1

15.70

6（千）

+15

20-26

40-70

300

30

無

5

千級潔淨

走  廊

11.40

6（千）

+10

20-26

40-70

250

30

無

6

千級潔淨

準備間


7（萬）

+10

20-26

40-70

250

30

無

6

更衣間

10.40

7（萬）

+10

20-26


200

30

無



格式1（式樣）


記錄書

     工段，       無塵車間取樣                                            

取樣時期                                                                  

房間狀態                                                                  

（空態、靜態、k8凯发天生赢家一触即发人生）

給定潔淨度級別                                                            

給定閥徑粒徑，微米                                                        

粒子的最大允許濃度，粒子/m3                                               

取樣量，升                                                                

取樣時間，分鍾                                                            

取樣點數量r                                                               

每1取樣點上的取樣次數，P                                                 

粒子計數器      

                                                          

取樣點位置示意圖



取樣點編號

1m3空氣中的粒子數或濃度，其粒徑為

≥0.5

≥5.0

1



2



3



4



5

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