無塵室測試範圍介紹

發布日期：2021-11-24 04:25　瀏覽次數：
無塵室測試範圍介紹 無塵室測試範圍介紹

無塵室測試範圍介紹




凡是和無塵室環境控製有關的因素，都在無塵室認證的範圍之內。在無塵室完工之前，業主、施工單位、與測試單位‧應就以下幾個主題做詳細討論並達成協議，以利測試進行。

  1. 待測無塵室涵蓋範圍、等級、麵積、濾網位置、與數量
  2. 測試的目的
  3. 測試程序
  4. 使用儀器
  5. 測試報告撰寫方式與內容
  6. 工期
      

在測試前，將以上項目定義清楚，可以使測試順利進行，發現問題時也可以盡快排除，對業主和施工單位都有利。

IEST-0062有一個表說明測試項目，以及適用狀態，具有相當參考價值表列如下。


IEST-RP-CC006.2 Table 1 

章節

測試項目

單一流向型

非單一流向型

混合型

6.1

風量與均勻度
風速與均勻度

1,2,3
1,2,3

1,2,3
OPT

1,2,3
OPT

6.2

濾網泄漏

1,2

1,2

1,2

6.3

潔淨度

1,2,3

1,2,3

1,2,3

6.4

壓力

1,2

1,2,3

1,2,3

6.5

平行度

1,2

N/A

OPT (1,2 only)

6.6

空間泄漏

1,2

1,2

1,2

6.7

恢複率

N/A

1,2

1,2

6.8

粒子沉降測試

1,2,3

1,2,3

1,2,3

6.9

照度

1,OPT(2,3)

1,OPT(2,3)

1,OPT (2,3)

6.10

噪音

1,2,3

1,2,3

1,2,3

6.11-6.13

溫濕度

1,2,2
OPT

1,2,3
OPT

1,2,3
OPT

6.14

振動

OPT

OPT

OPT


測試的順序沒有硬性規定，但是仍舊存在某些比較理想的順序


1:測試適用於As-built狀態
2:測試適用於At-rest狀態
3:測試適用於Operational狀態 

N/A:代表該測試在該狀態下?不適用?
OPT:代表該測試在該狀態下為?選擇性測試?，可以視製程需求而定


由上表可看出，風量測試〈使用氣罩〉適用任何狀態，因為不易受幹擾。

風速量測，在非單一流向型〈亂流型〉無塵室就不推薦，因為容易受幹擾。當然這是IEST的建議，我們可以自行決定。

至於測試的項目選擇，NEBB建議：依重要性分成三級，說明如下。


第一級〈Level I〉:第一級測試是所謂的主要測試，與潔淨度直接有關的測試都屬第一級，每個無塵室都應至少應做的測試。

第一級測試項目包括：

A.風速量測
B.風量量測
C.前兩項的均勻度分析
D.濾網泄漏測試
E.潔淨度測試
F.壓力量測


第二級〈Level   II〉:第二級測試，雖然也是與潔淨度與氣流有關，但是隻有在特殊情況下才需要進行。

A.氣流平行度量測〈隻適用層流型〉
B.空間泄漏測試〈幾乎已被壓差測試取代〉
C.恢複率測試〈依建議隻適用亂流型無塵室〉
D.粒子沉降測試〈近年來已經很少做〉


第三級〈Level   III〉:第三級測試就與氣流無關，都是屬於環境因素。

A.照度與其均勻度
B.噪音測試
C.振動測試
D.溫濕度測試

這裏說明NEBB所要求無塵室性能測試的各項測試程序，當然這些程序是NEBB所認定的基本要求，業主可視狀況自行修改。NEBB唯一的要求是，若是修改後的程序比較寬鬆，就不能說是符合NEBB標準。


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