一是采用餘熱回收利用技術。電子潔淨車間內的溫度,夏季比室外空氣溫度低,冬季比室外空氣溫度高,我們在排氣係統設計時應用了熱管熱交換器,該交換器具有傳熱效率高、結構緊湊、流體阻損小等優點,采用該交換器回收餘熱,作為室外的預冷及預熱。此種設計方案在實際應用中,作為電子潔淨車間廢熱回收和工藝過程中熱能利用的節能設備,取得了顯著的節能效果。
二是采用高效率的風機過濾機組。簡稱FFU(Fan Filter Unit),該機組過濾後的潔淨空氣在整個出風麵以0.45M/S±20%的風速勻速送出,工作效率大於45%以上。用以取代傳統潔淨室風量循環係統中的大型可變距軸流風機或空調箱係統。
三是整個淨化工程的電力係統采用高、低壓及負載側並聯進相電容器,提高係統功率因數,改善電功率,提高有效功率,減少耗能。因為配電容量不足時,電能負載加大,電壓降亦大,形成電壓不足、電能及發光使用效率降低,造成能源的浪費,這種方案的使用有利於淨化工程係統的節能。