FFU相對於實驗室淨化有哪些優點 它有幾種類型

發布日期:2020-02-04 07:05 瀏覽次數:

現在的實驗(experiment)室淨化大都是由靜壓層、工藝層、工藝輔助層和回風通道這幾個部分構成,實驗室淨化大都是通過FFU來處理空氣。具體的方法是由FFU提供循環(continue)空氣的動力,將新風、循環風混合後通過超高效過濾器(作用:過濾雜質等)送入工藝層和工藝輔助層,實驗室淨化的靜壓層相對於工藝層為負壓。那麽你知道FFU相對於實驗室淨化有哪些優點嗎?它又分為哪幾種類型?下麵為大家一一解答。
實驗(experiment)室淨化中FFU集成電路設計優點:潔淨室麵積可擴大、潔淨等級高、溫濕度控製(control)精度(精確度)高等多數潔淨室要求環境潔淨度、溫濕度、振動、ESD、AMC控製等。潔淨實驗室包括技術和設備的更新,研究人員增加和現有研究員的能力提高等。實驗室建設原則是滿足實驗室工作業務流程的優化及日常管理等方麵的需要。設計主要考慮實驗室的工藝流程、特殊實驗室和功能間的位置選擇、建築物內上層和下層的具體環境、建築結構等因素。FFU集成電路係統剛好可以最大化滿足這些要求。
實驗(experiment)室淨化按照回風特點分為三個係統:
1.FFU循環(continue)係統;
2.循環空調機配合高效送風口係統;
3.循環(continue)風機配合濕式密封係統和。
FFU集成電路係統的三種類型
1.最適合半導體(semiconductor)製造業的FFU循環(continue)係統
FFU循環(continue)係統不僅節省(spare)運行空間、潔淨度安全性(security)高、運行成本低,而且有很高的操作靈活性,在不影響生產(Produce)的情況下可以隨時進行係統升級和調整,這些都能很好地滿足半導體(semiconductor)製造企業的需求。
2.最適合小規模潔淨室的FFU循環(continue)係統
在小規模低等級要求的實驗室淨化設計中被廣泛(extensive)應用,對於大麵積高等級的實驗室淨化則存在運行成本過高、占用空間過大等缺點。
3.全能型FFU循環(continue)係統
這種形式的設計可以滿足集成電路製造潔淨室大麵積高等級的要求,但這項潔淨工程係統的運行成本較高,並且潔淨室風速、風量調節困難(difficult),係統升級改造困難,因此操作靈活性很低。核酸實驗室根據科研、生產、生活、消防等方麵用水對水質、水溫、水壓和水量的要求,結合室外給水係統等因素,從技術經濟指標上比較後確定。用水定額、水壓、水質、水溫及用水條件,應按工藝要求確定。水管由土建方通過預埋管鋪設在地板下麵,引到中央台指定位置;對於邊台,水管由土建方埋設在牆裏引到指定位置。其餘工作由實驗室建設單位完成。疾控實驗室正確的實驗室供排氣的解決方案是把實驗室的供排氣看作一個係統。這個係統要考慮到安全性、便利性、日常實驗室的管理、氣瓶的更換等問題,同時要重點考慮實驗室今後的發展,對於特殊氣體還要考慮特殊的技術解決方案。

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