光電廠潔淨室檢驗參考報告

檢測區域

檢測指標

計量單位

設計級別

技術要求

檢測結果

結論

邊反車間

懸浮粒子平均濃度

粒/m3

10000級

0.5um≤352000

24000

合格

5um≤2930

2750

風速

m/s

10000級

≥20

22

合格

印刷區域

懸浮粒子平均濃度

粒/m3

10000級

0.5um≤352000

16600

合格

5um≤2930

1045

風速

次/小時

10000級

≥20

40

合格

檢驗區域

懸浮粒子平均濃度

粒/m3

10000級

0.5um≤352000

50000

合格

5um≤2930

883

風速

次/小時

10000級

≥20

40

合格

包裝區域

懸浮粒子平均濃度

粒/m3

10000級

0.5um≤352000

25088

合格

5um≤2930

706

風速

次/小時

10000級

≥20

40

合格

檢測結論：符合規範要求。

檢測人

檢測日期

2015年5月2日

檢測區域

檢測指標

計量單位

設計級別

技術要求

檢測結果

結論

更衣緩衝

懸浮粒子平均濃度

粒/m3

100000級

0.5um≤3520000

369964

合格

5um≤29300

11542

風速

m/s

100000級

≥15

18

合格

油墨室

懸浮粒子平均濃度

粒/m3

100000級

0.5um≤3520000

1839458

合格

5um≤29300

5948

風速

次/小時

100000級

≥15

18

合格

光檢測區域

懸浮粒子平均濃度

粒/m3

100000級

0.5um≤3520000

1839458

合格

5um≤29300

5948

風速

次/小時

100000級

≥15

18

合格

檢測結論：符合規範要求。

檢測人

檢測日期

2015年5月2日