IEST-RP-CC006.3：潔淨室的測試

測試潔淨室和清潔區域的首要目的是確定它們的操作性能。現有的“IEST RP-CC006.3：潔淨室的測試”，提供了一套經過檢驗而且是標準化的測試程序，它可以確定潔淨室和清潔區域的性能。測試程序共分為兩類：初步測試和中級測試。初步測試與潔淨室空氣傳播微粒的清潔度分類或者驗證有著密切的關係，測試內容包含下列部分：氣流量、速度和均勻度測試；HEPA和ULPA過濾器安裝測試；空氣傳播微粒計算測試；室內加壓測試。中級測試包括與潔淨室或者潔淨區域有關的其他特性，指定的驗收範圍由以下內容組成：可視化氣流特征測試；光照度和光照均勻度測試；噪聲級測試；溫度和濕度的均勻的測試；振動測試。我們可能需要在一個或者多個操作狀態下，即空態，靜態或者操作狀態。
 
進行性能測試。在這個文獻中並沒有對測試的順序做出明確的規定，然而，在通常情況下，最好是以首選的順序來執行某些測試。例如，對於單向性潔淨室而言，建議采用以下順序：氣流量或者氣流速度測試（6.1部分）；可視化氣流特征測試（6.5部分）；室內加壓測試（6.4部分） 

推薦做法（RP）有望幫助規劃人員、設計人員、製造商和用戶，預備測試的詳盡的技術規範，保證潔淨室運行符合要求。根據協議規定，用戶將針對自己的潔淨室選擇適當的測試，並製定使用潔淨室所必需的驗收範圍。推薦做法還可能用來為專用潔淨室編寫內部測試程序。 

推薦做法還針對各種測試方法推薦了相應的測試設備。如果潔淨室的類型（即單向性潔淨室或非單向潔淨室）影響了測試的方法，那麽，這時就可以采用替代的測試程序。對於一些測試程序來說，可以有兩種以上的測試方法或者測試設備，因此，它們能夠滿足最終用戶所關注的問題的要求。在使用替代的方法時，最終用戶應該知道，通過不同的方法所得出的結果可能並不一致。 

在通常情況下，推薦做法沒有提供相關的驗收範圍，而隻是提供了用來確定適當界限的標準術語。此外，推薦做法沒有完全包括所有可以用來描述潔淨室操作參數特性的測試，例如，粒子沉澱速度，空氣分子汙染物，微生物，靜電放電（ESD），複原測試和汙染泄漏測試，以及其他未提及的測試。 

基本測試 
氣流量、速度和均勻度測試。這些測試決定了單向性潔淨室和潔淨區域的氣流速度和均勻度，以及潔淨室的送風量的流動速度和送風量的均勻度。測試通常要麽對氣流速度有要求，要麽對氣流量有要求，並且可以從平均速度、平均流量或者總流量中得出結論。根據總流量，可以確定空氣的換氣次數。 

HEPA的ULPA過濾器的安裝泄漏測試。這些測試可以用來確定HEPA或者ULPA過濾器係統的完整性。這個測試通過在HEPA或者ULPA過濾器的上遊引入測試用氣溶膠，同時，在過濾器的下遊，包括從過濾器到邊框密封，執行完整性掃描測試來實現。這個推薦做法參考了“IEST-RP-CC034：HEPA和ULPA過濾器泄漏測試”，它詳細地描述了這部分的測試。 

懸浮微粒計算測試。這個測試能夠確定處於完全的空態、靜態或者操作狀態下的潔淨室是否符合“ISO 14644-1:1999”對特定空氣清潔度的細致分類。在通常情況下，它指的是在ISO標準中所記載的測試方法。 

室內加壓測試。這個測試用來驗證潔淨室與周圍環境之間能否保持指定的靜壓差的能力，包括上方和下方與潔淨室相鄰的空間。一般說來，潔淨室會有一個正壓，然而，對於某些需要防止泄漏的應用而言，包含毒性、生物或者放射性材料的應用，必須規定具有負壓。 

中級測試 
可視化氣流特征測試。這個測試的目的在於可視化地描述整個工作區域內多個位置和相鄰的地方主要的氣流方向（流動矢量）。這個試驗證潔淨室控製氣流的傳播能力，以此確定空氣汙染的來源。這裏共提供了兩種測試方法：流線測試和氣溶膠散布測試。 

光照度和光照均勻度測試。這個測試的目的在於驗證在潔淨室裏的光照度和光照均勻度是否符合指定的要求。 
噪聲級測試。這個測試的目的在於測量由潔淨室的機械係統和電子係統以及由鄰近的外部區域所產生的聲壓級，驗證他們是否符合最終用戶的要求。 

溫度和濕度的均勻度測試。這些測試的目的是用來確定空氣調節器能否使溫度和濕度（表現為相對濕度或者露點）在最終用戶指定的時間段內保持在規定的範圍內。這些測試方法分為兩個級別，即常規測試和全麵測試。全麵測試需要對潔淨室進行剖析，確定均勻度，而常規測試隻需要在每個溫度控製區域內設置一個測試位置即可。 
振動測試。這個測試的目的在於確定潔淨室結構的振動級別以及它的構成，以驗證潔淨室能否符合最終用戶的要求。這個推薦做法有一個常規的測試程序，而且參考了“IEST-RP-CC024：微電子工廠的振動測量與報告”，那裏有更詳細的測試要求。 

當前在文獻方麵的工作 
006工作組對IEST-RP-CC006.3進行評估，以確定這個文獻在哪些地方需要進行修訂。結果是，該工作組目前正在討論以下議題：複原速度測試；氣流的可視化；表麵的傳導性測試；以及在進行氣流量、速度和均勻度測試和室內加壓測試時，測試儀器的精確度與測試項目的關係。 

結束語 
“ISO 14644 潔淨室與相關控製環境（第三部分）：測試方法”作為現行的國際標準草案（FDIS），涵蓋了目前IEST-RP-CC006.3裏論述的大量的測試方法。這個國際標準草案還引用了源自IEST-RP-CC006.3和IEST-RP-CC034.2文獻裏的許多附加材料。ISO 14644-3有望於2005年底之前成為正式的標準。 

作者簡介 
Robert L. Mielke是Abbott實驗室的首席測試工程師，該實驗室總部設於美國伊利諾斯州北芝加哥——他是環境科學與技術協會（IEST）的委員。Mielke擔任IEST標準與實務主席這個職務已有八年了，並且，分別在1995年至1997年和1999年至2001年兩次被任命為“汙染控製”的技術副主席。他在保證IEST和美國的ISO/TC 209秘書處的正常運作方麵起到非常關鍵的作用，並且，將繼續擔任該機構的負責人。Mielke目前是IEST 006工作組的主席。 

潔淨室測試標準的發展 

自上世紀六十年代起，潔淨室測試學科已經成為標準和推薦做法的成果的焦點。論述潔淨室測試的最早的標準之一，是出版於1963年的美國聯邦標準209 （FED-STD-209），它有一個非強製性的補充指導附錄部分，專門針對潔淨室的測試。這個標準的修訂版A和修訂版B在附錄中也包含了潔淨室的測試。對於如何進行潔淨室的測試，還有許多私營企業或者公司的特定的程序。第一個在美國出現的涵蓋了潔淨室測試的推薦做法，是美國汙染控製協會（A2C2）命名為“清潔室”的CS-6文獻，它出版於1970年。隨著美國汙染控製協會合並到隨後成立的環境科學協會（IES）中，這些文獻也就成為IES的組成部分。 
環境科學與技術協會（IEST）的汙染控製部門，就是該協會早在1982年最先為編寫推薦做法而成立的工作組（WG）。其中，最早成立的工作組之一是WG-CC006——潔淨室測試。自該工作組創建至今，共刊印了三個文獻，即1984年出版的IES-RP-CC-006-84T，1997年出版的IEST-RP-CC006.2和2004年出版的IEST RP-CC006.3。 
ISO技術協會209 （ISO/TC 209）自1992年成立之日起，就已決定要逐漸形成一個包含潔淨室測試的文獻。結果是，1993年在ISO/TC 209內成立了工作組3，因此也就有了ISO 14644-3。